美国Siargo FS8000系列微机电气体质量流量传感器 - FS8001/FS8003

产品介绍 一、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品简介： FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而 设计的。产品有两种测量范围，螺纹接口易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。 二、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品特点: 传感器灵敏度高，有极小的始动流量 响应速度快 低压损 安装方便 三、FS8000系列微机电气体质量流量传感器技术参数： 项目 FS8001 FS8003 单位 流量范围 (0~500) sccm (0~6) SLPM 精度 ±(2. 0+0. 5FS) % 重复性 ±1. 0 % 零点输出漂移 ±30 mV 输出漂移 ±0. 12 % / ℃ 响应时间 10 ms 工作电源 8~24 VDC 输出方式 线性，模拟电压0.5~4.5VD C（可选IC 数字信号输出） Max工作压力 0.3 MPa 工作温度 0 ~ +55 ℃ 储存温度 -20 ~ +65 ℃ 工作湿度 95% RH （无结冰、无凝露） 电气接口 SM 05B-SRSS-TB (JST) 机械接口 M5螺孔 Rc1/ 8(入口)/M 5螺孔(出口) 标准方式 空气（20℃，101.325kPa）