半导体电阻率测试方案

我们推荐使用四探针法结合吉时利公司的高精度源测量单元（SMU）来解决半导体材料电阻率测试的需求。该方案具有多种特点和功能，包括提供电阻率计算公式、正向/反向电流换向测试、精确稳定的四探针头、精密控制探针头与被测物之间的距离、绝缘特氟龙图层的载物盘等。配合吉时利2450/2460/2461高精度源表使用，确保测试精度和一致性。系统结构主要由吉时利源表（SMU）、四探针台和上位机软件组成。我们提供从解决方案到售后服务的一体化支持。

解决方案：
为了满足半导体材料电阻率测试的需求，我们推荐使用四探针法结合吉时利公司的高精度源测量单元（SMU）来进行测试。该方案具有以下特点和功能：

1. 系统提供上位机软件，内置电阻率计算公式，符合国标硅单晶电阻率测试标准。测试结束后，可以直接从电脑端读取计算结果，方便后续数据的处理分析。

2. 提供正向/反向电流换向测试，通过电流换向消除热电势误差的影响，提高测量精度。

3. 四探针头采用碳化钨材质，间距为1毫米，探针位置精确稳定。针对不同材料的待测件，提供多种不同间距、不同针尖直径的针头选项。

4. 探针台具备粗/细两级高度调整，细微调整时，高度分辨率高达2微米，可以精密控制探针头与被测物之间的距离，防止对被测物的损害。

5. 载物盘表面采用绝缘特氟龙图层，降低漏电流造成的测试误差。

软件功能包括输出电流并测试电压、电阻、电阻率、电导率、薄层电阻等，记录数据，并根据测试结果绘制曲线。软件在Windows 7/8/10平台下使用，测试方法符合国家测试标准。同时，提供多种修正参数帮助提高电阻率测试精度。配合吉时利2450/2460/2461高精度源表使用，确保测试精度和一致性。

系统结构主要由吉时利源表（SMU）、四探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或后面板排线接口连接到源表上。

系统指标包括电阻率测试范围为0.001Ω•cm~1MΩ•cm，探针头压力合力为S型悬臂式弹簧，合力为6~10N，绝缘电阻在500V下为1GΩ，系统误差为2%（1Ω•cm时，误差小于0.5%），探针头间距可选1mm、1.27mm、1.59mm，使用红宝石套轴，探针游移率为0.2%，针尖压痕直径可选25um~450um，通信接口为LAN/USB/GPIB，探针台尺寸为240mm x 160mm x 280mm。

通过以上配置，我们可以提供从解决方案、产品选型、仪器销售到仪器维修、仪器延保、校准、预防性维护以及仪器培训等一体化的服务。作为泰克西北地区的服务商，我们将与泰克厂家合作，以客户为中心，为客户提供全方位的支持和服务，让用户不再烦恼。